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7月20日,索尼半导体九州熊本技术中心(熊本TEC)的CMOS传感器工厂亮相,索尼向媒体公开了已经于2007年春季投产的300mm晶圆量产CMOS传感器的2号厂房。索尼已经表示,计划在2007年度至2009年度,对此次公开的2号厂房进行600亿日元的投资。业内人士指出,与8英寸晶圆适合于切割APS规格影像传感器相一致,300mm晶圆(12英寸)可以使切割全画幅影像传感器在成品率、效费比等指标上达到实用化水平,索尼半导体九州熊本技术中心CMOS传感器工厂2号厂房的投产意味着,索尼已经突破了全画幅影像传感器的生产瓶颈,目前正在研发之中的索尼中高档数码单反有望采用索尼自行研发、生产的全画幅CMOS影像传感器,而一直依赖于索尼供应影像传感器的尼康、三星、宾得三大品牌旗下数码单反也有可能在今年下半年到明年上半年推出全画幅数码单反。 CMOS、CCD等影像传感器由于直接关系到索尼产品的性能,而且能够在制造工艺上有别于竞争对手,因此被确定为优先强化生产设备的领域。目前,索尼正在对自行生产的半导体进行甄别。根据计划,索尼将提高高速读取的CMOS影像传感器的生产比例,向市场投放具有CCD无法实现的技术特点的数码相机,为此,索尼今后的设备投资将主要面向CMOS传感器。但是CCD生产线与CMOS传感器生产线约有八成的生产设备可以共用,因此在建造工厂时,索尼把各生产线专用设备的采用量控制到了最小限度,建成了能够根据市场行情改变生产内容的生产体制。 2号厂房的特点是在前工序的生产线中采用了自动化生产管理系统,可以实现晶圆搬运及设备操作的自动化、检査工序的自动化、设备异常及工艺变更的自动检测、处理情况向工艺条件的回馈、灵活的生产计划制定等。这套名为“设备工程系统”(Equipment Engineering System,简称EES)的生产管理系统能够使用传感器对以前样品抽样检测中检测过的高频及直流电源、板温度、真空压力的误差实时监控,而且2号厂房还能够利用可通过测量数据计算设备参数的系统——“高级元件控制”(Advanced Device Control,简称ADC)来控制装置内部加热器的开关和晶圆向装置的搬入/搬出。利用这些自动管理系统,可以事先察觉重大问题及工艺处理变动导致的成品率下降并制定对策。目前系统正在进行安装,尚未完全启用。2号厂房后工序多采用自产装置也是索尼工厂的特点。这也反映了索尼在开始量产影像传感器时,由于没有摄像元件制造装置和检査装置,必须自行开发的历史。目前,能够在放入完成了前工序的晶圆后进行晶粒焊接、摄像检査等一系列处理的装置均由索尼内部生产。另外,2001年开始投入量产的1号厂房原为CCD生产线。为了使1号厂房和2号厂房生产线的设备得到高效利用,索尼在两厂房之间保持了能够穿着清洁衣来往的清洁通道,晶圆搬运机也通过相互连接的厂房走廊在两个厂房实现了共用。在2号厂房的楼层中,同种生产设备尽量相邻放置,没有对专门面向CMOS影像传感器制造工序的布局进行优化。 值得一提的是,索尼新工厂在环保方面也做出了努力。除了采用高效节能系统等与其他公司相同的措施外,熊本TEC还进行独有的地下水补充业务。人口约67万人的熊本市只能采用地下水作为自来水的水源,而索尼熊本TEC在2006年估计使用了高达140万吨的地下水。如果不补充与用量相当的地下水,很可能对供水造成影响。为此,该公司与环境NGO、农协进行合作,在夏、秋两个季节,向邻近的耕种前的旱田和收完稻子的水田灌入河水,使其渗入地下成为地下水。 另据本报消息,此前柯达影像传感器部门已经解决了千万像素级全画幅影像传感器生产问题,依托柯达供应影像传感器的奥林巴斯、松下、徕卡阵营亦有望于明年PMA前后推出千万像素级机型,而目前正在研发之中的徕卡R10将有可能成为徕卡旗下第一台采用全画幅影像传感器的数码单反一体机。 |
